日本納普森（Napson）公司EC-80P（便攜式）電阻率與方塊電阻測(cè)量?jī)x 介紹

更新時(shí)間：2026-03-09

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本文將介紹日本納普森（Napson）公司生產(chǎn)的 EC-80P（便攜式） 電阻率與方塊電阻測(cè)量?jī)x。這是一款利用**渦流法（Eddy Current Method）**進(jìn)行非接觸、非破壞性測(cè)量的手持設(shè)備。

這款設(shè)備最的大的特點(diǎn)是**“非接觸"**，它不需要像傳統(tǒng)四探針法那樣刺破或接觸樣品表面，而是利用電磁感應(yīng)原理進(jìn)行測(cè)量。

測(cè)量原理： 渦流法（Eddy Current）。探頭產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，在導(dǎo)電樣品中感應(yīng)出渦流，通過檢測(cè)渦流對(duì)磁場(chǎng)的反作用來計(jì)算電阻。
主要優(yōu)勢(shì)：

以下是該設(shè)備的核心技術(shù)參數(shù)，涵蓋了它能測(cè)什么以及測(cè)得有多準(zhǔn)。

參數(shù)類別	詳細(xì)規(guī)格	備注
測(cè)量對(duì)象	半導(dǎo)體（硅、SiC）、新型材料（石墨烯、CNT）、導(dǎo)電薄膜（ITO）、化合物半導(dǎo)體等	適用范圍廣泛
適用尺寸	尺寸/形狀不限（需大于 20mmφ 且表面平整）	探頭直徑為20mm
電阻率范圍	1 mΩ·cm ～ 200 Ω·cm	厚度500μm時(shí)
方塊電阻范圍	10 mΩ/□ ～ 3 kΩ/□	全探頭總范圍
設(shè)備尺寸	主機(jī)：255×275×95mm (4kg) 探頭：20mmφ×80mm	便攜設(shè)計(jì)

為了覆蓋從極低到極的高阻值的材料，該設(shè)備支持更換不同類型的探頭。以下是文檔中列出的詳細(xì)分檔：

低阻探頭： 0.01 ～ 0.5 Ω/□ (對(duì)應(yīng) 0.001 ～ 0.05 Ω·cm)
中阻探頭： 0.5 ～ 10 Ω/□ (對(duì)應(yīng) 0.05 ～ 0.5 Ω·cm)
高阻探頭： 10 ～ 1,000 Ω/□ (對(duì)應(yīng) 0.5 ～ 60 Ω·cm)
超高阻探頭： 1,000 ～ 3,000 Ω/□ (對(duì)應(yīng) 60 ～ 200 Ω·cm)
專用探頭： 太陽能晶片專用 (5 ～ 500 Ω/□)

根據(jù)測(cè)量對(duì)象的分類，這款設(shè)備主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

總結(jié)建議：如果你需要在不損壞樣品的前提下，快速檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓或?qū)щ姳∧さ碾娮杼匦裕覙悠烦叽绱笥?0mm，這款便攜式渦流儀是一個(gè)非常合適的選擇。

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